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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロ ・ マシニング ニ オケル サイショウ キリトリ アツサ ト コウグ キレバ ノ ビシテキ セイジョウ
- Author/Editor
- 島田, 尚一, 大阪大学
- Author Heading
- 島田, 尚一 シマダ, ショウイチ
- Publication Date
- 1987-1988
- Publication Date (W3CDTF)
- 1987
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)