Jump to main content
図書

高融点金属酸化物耐熱性レジストのSi微細加工への応用

Icons representing 図書

高融点金属酸化物耐熱性レジストのSi微細加工への応用

Call No. (NDL)
Y151-S62550217
Bibliographic ID of National Diet Library
000007031451
Material type
図書
Author
馬場, 守, 岩手大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウユウテン キンゾク サンカブツ タイネツセイ レジスト ノ Si ビサイ カコウ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
馬場, 守, 岩手大学
Author Heading
馬場, 守 ババ, マモル
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
電子線リソグラフイ デンシセンリソグラフイ
無機レジスト ムキレジスト
不純物拡散 フジユンブツカクサン
高融点金属 コウユウテンキンゾク
リフトオフ リフトオフ
スバツタエツチング スバツタエツチング
酸化タングステン サンカタングステン
酸化モリブデン サンカモリブデン