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クリーンルーム清浄環境の高精度制御のための換気効率指標と効率的給排気システムの開発

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クリーンルーム清浄環境の高精度制御のための換気効率指標と効率的給排気システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-S62850107
Bibliographic ID of National Diet Library
000007032966
Material type
図書
Author
加藤, 信介, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type
図書
Title Transcription
クリーンルーム セイジョウ カンキョウ ノ コウセイド セイギョ ノ タメ ノ カンキ コウリツ シヒョウ ト コウリツテキキュウハイキ システム ノ カイハツ
Author/Editor
加藤, 信介, 東京大学
Author Heading
加藤, 信介 カトウ, シンスケ
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
クリーンルーム クリーンルーム
清浄環境 セイジヨウカンキヨウ
給排気システム キユウハイキシステム
換気効率 カンキコウリツ
気流性状 キリユウセイジヨウ
汚染生拡散性状 オセンセイカクサンセイジヨウ
模型実験 モケイジツケン
数値シミユレーシヨン スウチシミユレーシヨン