超微粒子熱泳動CVDによるAlN板の合成

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Material Type: 図書
Title: 超微粒子熱泳動CVDによるAlN板の合成
Title Transcription: チョウビリュウシネツエイドウ CVD ニヨル AlN バンノゴウセイ
Author/Editor: 小宮山宏, 東京大学
Author Heading: 著者：小宮山, 宏, 1944- コミヤマ, ヒロシ, 1944- ( 00215918 )Authorities
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: CVD CVD
超微粒子チヨウビリユウシ
熱永動ネツエイドウ
窒化アルミニウムチツカアルミニウム
成膜速度セイマクソクド
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62850165
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62850165
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007033012
http://id.ndl.go.jp/bib/000007033012
Bibliographic Record Category (NDL): 214