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図書

ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

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ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

Call No. (NDL)
Y151-S62880003
Bibliographic ID of National Diet Library
000007033140
Material type
図書
Author
菅井, 秀郎, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダブルプラズマホウ ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ サクセイ
Author/Editor
菅井, 秀郎, 名古屋大学
Author Heading
菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
機能性薄膜 キノウセイハクマク
プラズマプロセス プラズマプロセス
イオンビーム イオンビーム
電子ビーム デンシビーム
マイクロ波放電 マイクロハホウデン
グロー放電 グローホウデン
グブルプラズマ グブルプラズマ
反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ