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赤外線表面波光および導波光による半導体エピタクシヤル膜の評価

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赤外線表面波光および導波光による半導体エピタクシヤル膜の評価

Call No. (NDL)
Y151-S63460059
Bibliographic ID of National Diet Library
000007033813
Material type
図書
Author
小川, 智哉, 学習院大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
セキガイセン ヒョウメンハ ヒカリ オヨビ ドウハ ヒカリ ニ ヨル ハンドウタイ エピタクシヤルマク ノ ヒョウカ
Author/Editor
小川, 智哉, 学習院大学
Author Heading
小川, 智哉 オガワ, トモヤ
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
半導体 ハンドウタイ
エピタクシヤル成長膜 エピタクシヤルセイチヨウマク
イオン注入 イオンチユウニユウ
光散乱 ヒカリサンラン
格子欠陥 コウシケツカン
ウエハーの評価 ウエハーノヒヨウカ