反応性スパッタリングで作製した鉄窒素薄膜の相変態と膜物性

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Material Type: 図書
Title: 反応性スパッタリングで作製した鉄窒素薄膜の相変態と膜物性
Title Transcription: ハンノウセイスパッタリングデサクセイシタテツチッソハクマクノソウヘンタイトマクブッセイ
Author/Editor: 入戸野修, 東京工業大学
Author Heading: 入戸野, 修ニットノ, オサム
Publication Date: 1988-1989
Publication Date (W3CDTF): 1988
1989
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 磁性膜ジセイマク
反応スパツタリングハンノウスパツタリング
鉄窒化物膜テツチツカブツマク
膜構造マクコウゾウ
相分解ソウブンカイ
相変態ソウヘンタイ
電気抵抗デンキテイコウ
高分解能電顕法コウブンカイノウデンケンホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63460191
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63460191
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007033927
http://id.ndl.go.jp/bib/000007033927
Bibliographic Record Category (NDL): 214