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電子顕微鏡法による金属シリコン界面でのシリサイド化反応の精密解析

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電子顕微鏡法による金属シリコン界面でのシリサイド化反応の精密解析

Call No. (NDL)
Y151-S63550026
Bibliographic ID of National Diet Library
000007034948
Material type
図書
Author
横田, 康広, 岡山理科大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル キンゾク シリコン カイメン デ ノ シリサイドカ ハンノウ ノ セイミツ カイセキ
Author/Editor
横田, 康広, 岡山理科大学
Author Heading
横田, 康広 ヨコタ, ヤスヒロ
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
白金シリサイド ハツキンシリサイド
シリサイド化反応 シリサイドカハンノウ
断面TEM法 ダンメンTEMホウ
イオン研磨 イオンケンマ
小突起 シヨウトツキ