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図書

高機能接合部の構造と制御に関する研究

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高機能接合部の構造と制御に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S63550098
Bibliographic ID of National Diet Library
000007034986
Material type
図書
Author
新野, 秀憲, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウキノウ セツゴウブ ノ コウゾウ ト セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
新野, 秀憲, 東京工業大学
Author Heading
著者 : 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )Authorities
東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )Authorities
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
機能性接合部 キノウセイセツゴウブ
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
超精密計測 チヨウセイミツケイソク
構造設計 コウゾウセツケイ
結合部 ケツゴウブ
制御機能 セイギヨキノウ
移動テーブル イドウテーブル
テーブル駆動系 テーブルクドウケイ