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光CVD法によるAl2O3絶縁膜の低温作製

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光CVD法によるAl2O3絶縁膜の低温作製

Call No. (NDL)
Y151-S63550235
Bibliographic ID of National Diet Library
000007035055
Material type
図書
Author
更家, 淳司, 京都工芸繊維大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ヒカリ CVD ホウ ニ ヨル Al2O3 ゼツエンマク ノ テイオン サクセイ
Author/Editor
更家, 淳司, 京都工芸繊維大学
Author Heading
更家, 淳司 サライエ, ジュンジ
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
アルミナ膜 アルミナマク
光CVD法 ヒカリCVDホウ
堆積速度 タイセキソクド
誘電損失 ユウデンソンシツ