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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スパッタ ・ イオン ケンマ カテイ ノ UHV デンケンホウ ニ ヨル ケンキュウ
- Author/Editor
- 高柳邦夫, 東京工業大学
- Author Heading
- 高柳, 邦夫 タカヤナギ, クニオ
- Publication Date
- 1978-1979
- Publication Date (W3CDTF)
- 19781979
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- NDLC