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シランの放電分解によるシリコン膜の成長過程の研究

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シランの放電分解によるシリコン膜の成長過程の研究

Call No. (NDL)
Y151-S00446056
Bibliographic ID of National Diet Library
000007040381
Material type
図書
Author
伊藤, 糾次, 早稲田大学
Publisher
-
Publication date
1979-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シラン ノ ホウデン ブンカイ ニ ヨル シリコンマク ノ セイチョウ カテイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
伊藤, 糾次, 早稲田大学
Author Heading
伊藤, 糾次 イトウ, タダツグ
Publication Date
1979-
Publication Date (W3CDTF)
1979
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
NDLC