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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- サブミクロン カコウヨウ デンシセン レジスト ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 柴山, 乾夫, 東北大学
- Author Heading
- 柴山, 乾夫 シバヤマ, キミオ
- Publication Date
- 1979-
- Publication Date (W3CDTF)
- 1979
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- NDLC