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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スパッタホウ ニ ヨル アモルファス ・ シリコンケイ ハクマク ノ セイサク ト ソノ キソ トクセイ
- Author/Editor
- 更家淳司, 京都大学
- Author Heading
- 更家, 淳司 サライエ, ジュンジ
- Publication Date
- 1979-1980
- Publication Date (W3CDTF)
- 19791980
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- NDLC