スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性

スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性

Call No. (NDL): Y151-S00446100
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007040413

Material type: 図書

Author: 更家淳司, 京都大学

Publisher: -

Publication date: 1979-1980

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性
Title Transcription: スパッタホウニヨルアモルファス・シリコンケイハクマクノセイサクトソノキソトクセイ
Author/Editor: 更家淳司, 京都大学
Author Heading: 更家, 淳司サライエ, ジュンジ
Publication Date: 1979-1980
Publication Date (W3CDTF): 1979
1980
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 00446100
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S00446100
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007040413
http://id.ndl.go.jp/bib/000007040413
Bibliographic Record Category (NDL): 214