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スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性

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スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性

Call No. (NDL)
Y151-S00446100
Bibliographic ID of National Diet Library
000007040413
Material type
図書
Author
更家淳司, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1979-1980
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
スパッタ法によるアモルファス・シリコン系薄膜の製作とその基礎特性
Title Transcription
スパッタホウ ニ ヨル アモルファス ・ シリコンケイ ハクマク ノ セイサク ト ソノ キソ トクセイ
Author/Editor
更家淳司, 京都大学
Author Heading
更家, 淳司 サライエ, ジュンジ
Publication Date
1979-1980
Publication Date (W3CDTF)
1979
1980
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
NDLC
Y151