非晶シリコン層で覆われたサファイア基板へのシリコンエピタキシャル成長機構の研究

非晶シリコン層で覆われたサファイア基板へのシリコンエピタキシャル成長機構の研究

Call No. (NDL): Y151-S59460107
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007042462

Material type: 図書

Author: 安田幸夫, 豊橋技術科学大学

Publisher: -

Publication date: 1984-1985

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 非晶シリコン層で覆われたサファイア基板へのシリコンエピタキシャル成長機構の研究
Title Transcription: ヒショウシリコンソウデオオワレタサファイアキバンヘノシリコンエピタキシャルセイチョウキコウノケンキュウ
Author/Editor: 安田幸夫, 豊橋技術科学大学
Author Heading: 安田, 幸夫ヤスダ, ユキオ
Publication Date: 1984-1985
Publication Date (W3CDTF): 1984
1985
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Text Language Code: eng
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 59460107
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S59460107
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007042462
http://id.ndl.go.jp/bib/000007042462
Bibliographic Record Category (NDL): 214