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図書

真空紫外光励起化学反応による半導体表面清浄化プロセスの開発

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真空紫外光励起化学反応による半導体表面清浄化プロセスの開発

Call No. (NDL)
Y151-S59850052
Bibliographic ID of National Diet Library
000007044196
Material type
図書
Author
広瀬, 全孝, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1984-1986
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シンクウ シガイコウレイキカガク ハンノウ ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン セイジョウカ プロセス ノ カイハツ
Author/Editor
広瀬, 全孝, 広島大学
Author Heading
広瀬, 全孝 ヒロセ, マサタカ
Publication Date
1984-1986
Publication Date (W3CDTF)
1984
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究
NDLC