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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- CVD ホウ ニ ヨル AIN エピタキシヤル セイチョウマク オヨビ ソノ オウヨウ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 坪内, 和夫, 東北大学
- Author Heading
- 坪内, 和夫 ツボウチ, カズオ
- Publication Date
- 1980-1981
- Publication Date (W3CDTF)
- 1980
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- NDLC