エキシマー・レーザーによる選択デポジションの基礎研究

エキシマー・レーザーによる選択デポジションの基礎研究

Call No. (NDL): Y151-S58420028
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007048919

Material type: 図書

Author: 広瀬全孝, 広島大学 [著]

Publisher: [広瀬全孝]

Publication date: 1983-1985

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 5, 55p

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: エキシマー・レーザーによる選択デポジションの基礎研究
Title Transcription: エキシマーレーザーニヨルセンタクデポジションノキソケンキュウ
Author/Editor: 広瀬全孝, 広島大学 [著]
Author Heading: 広瀬, 全孝ヒロセ, マサタカ
広島大学ヒロシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [広瀬全孝]
Publication Date: 1983-1985
1986.3
Publication Date (W3CDTF): 1983
1985
Extent: 5, 55p
Additional Title: 研究種目一般研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 58420028
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S58420028
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007048919
http://id.ndl.go.jp/bib/000007048919
Bibliographic Record Category (NDL): 214