ジシランを用いた光CVD法による高品質アモルファスSi膜の形成

ジシランを用いた光CVD法による高品質アモルファスSi膜の形成

Call No. (NDL): Y151-S58460060
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007049152

Material type: 図書

Author: 小長井誠, 東京工業大学

Publisher: -

Publication date: 1983-1984

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 図書
Title: ジシランを用いた光CVD法による高品質アモルファスSi膜の形成
Title Transcription: ジシランオモチイタヒカリ CVD ホウニヨルコウヒンシツアモルファス Si マクノケイセイ
Author/Editor: 小長井誠, 東京工業大学
Author Heading: 小長井, 誠コナガイ, マコト
Publication Date: 1983-1984
Publication Date (W3CDTF): 1983
1984
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 58460060
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S58460060
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007049152
http://id.ndl.go.jp/bib/000007049152
Bibliographic Record Category (NDL): 214