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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウソク マグネトロンスパッターリングホウ ニ ヨル コタイ チッソ ハクマク ターゲット ノ シサク
- Author/Editor
- 菅井, 勲, 東京大学
- Author Heading
- 菅井, 勲 スガイ, イサオ
- Publication Date
- 1983-
- Publication Date (W3CDTF)
- 1983
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- NDLC