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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- シリコンー カゴウブツ ハンドウタイ プレーナガタ フクゴウ デバイス ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 河東田, 隆, 東京大学
- Author Heading
- 河東田, 隆 カトウダ, タカシ
- Publication Date
- 1983-1984
- Publication Date (W3CDTF)
- 1983
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- NDLC