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原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

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原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

Call No. (NDL)
Y151-S58850073
Bibliographic ID of National Diet Library
000007050802
Material type
図書
Author
大矢銀一郎, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1983-1984
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作
Title Transcription
ゲンシソウ エピタキシャルホウ ニ ヨル サンカブツタンケッショウ ハクマク イクセイ ノ タメ ノ セイギョ ソウチ ノ シサク
Author/Editor
大矢銀一郎, 東北大学
Author Heading
大矢, 銀一郎 オオヤ, ギンイチロウ
Publication Date
1983-1984
Publication Date (W3CDTF)
1983
1984
Extent
冊
Additional Title
研究種目 試験研究
NDLC
Y151