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図書

反応性スパッタ・エッチングによる機械部品マイクロパーツ加工に関する研究

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反応性スパッタ・エッチングによる機械部品マイクロパーツ加工に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S56550081
Bibliographic ID of National Diet Library
000007052582
Material type
図書
Author
勇田敏夫, 北海道大学 [著]
Publisher
[勇田敏夫]
Publication date
1981-1982
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンノウセイ スパッタ エッチング ニ ヨル キカイ ブヒン マイクロ パーツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
勇田敏夫, 北海道大学 [著]
Author Heading
勇田, 敏夫 ユウタ, トシオ
北海道大学 ホッカイドウ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1981-1982
1983.3
Publication Date (W3CDTF)
1981
1982
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 一般研究(C)