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対向ターゲット式低温・高速スパッタによる高密度磁気記録用Co-Cr系合金膜の作製

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対向ターゲット式低温・高速スパッタによる高密度磁気記録用Co-Cr系合金膜の作製

Call No. (NDL)
Y151-S56850092
Bibliographic ID of National Diet Library
000007053186
Material type
図書
Author
山中俊一, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1981-1982
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タイコウ ターゲットシキ テイオン ・ コウソク スパッタ ニ ヨル コウミツド ジキ キロクヨウ Co-Cr ケイ ゴウキンマク ノ サクセイ
Author/Editor
山中俊一, 東京工業大学
Author Heading
山中, 俊一 ヤマナカ, シュンイチ
Publication Date
1981-1982
Publication Date (W3CDTF)
1981
1982
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究
NDLC