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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タイコウ ターゲットシキ テイオン ・ コウソク スパッタ ニ ヨル コウミツド ジキ キロクヨウ Co-Cr ケイ ゴウキンマク ノ サクセイ
- Author/Editor
- 山中俊一, 東京工業大学
- Author Heading
- 山中, 俊一 ヤマナカ, シュンイチ
- Publication Date
- 1981-1982
- Publication Date (W3CDTF)
- 19811982
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- NDLC