モジユレーシヨンスパツタ法による半導体薄膜の機能設計と感性化学センサへの応用

• Material Type: 図書
• Title: モジユレーシヨンスパツタ法による半導体薄膜の機能設計と感性化学センサへの応用
• Title Transcription: モジユレーシヨンスパツタホウ ニ ヨル ハンドウタイ ハクマク ノ キノウ セッケイ ト カンセイ カガク センサ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 南戸, 秀仁, 金沢工業大学
• Author Heading: 南戸, 秀仁 ナント, ヒデヒト
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: スパツタリング スパツタリング; 薄膜 ハクマク; 酸化物半導体 サンカブツハンドウタイ; 感性化学センサ カンセイカガクセンサ; ガスセンサ ガスセンサ; インテリジエントセンサ インテリジエントセンサ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450041
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09450041
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007055895; http://id.ndl.go.jp/bib/000007055895
• Bibliographic Record Category (NDL): 214