極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発
Title Transcription: ゴクウスゲートサンカマクノゲンシソウセイギョケイセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 財満, 鎮明, 名古屋大学
Author Heading: 著者：財満, 鎭明ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )Authorities
名古屋大学ナゴヤダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: Si/SiO2界面 SI/SIO2カイメン
シリコン初期酸化過程シリコンシヨキサンカカテイ
高分解能エネルギー損失分充法コウブンカイノウエネルギーソンシツブンジユウホウ
構造緩和過程コウゾウカンワカテイ
表面吸着水素ヒヨウメンキユウチヤクスイソ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555098
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09555098
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007056499
http://id.ndl.go.jp/bib/000007056499
Bibliographic Record Category (NDL): 214