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集積回路に用いられるナノメータ・スケールMOSトランジスタの研究

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集積回路に用いられるナノメータ・スケールMOSトランジスタの研究

Call No. (NDL)
Y151-H09555107
Bibliographic ID of National Diet Library
000007056502
Material type
図書
Author
舛岡, 富士雄, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シュウセキ カイロ ニ モチイラレル ナノメータ ・ スケール MOS トランジスタ ノ ケンキュウ
Author/Editor
舛岡, 富士雄, 東北大学
Author Heading
舛岡, 富士雄 マスオカ, フジオ
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
3次元MOSFET 3ジゲンMOSFET
SGT SGT
M-SGT M-SGT