シリコン中金原子のリング機構拡散

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Material Type: 図書
Title: シリコン中金原子のリング機構拡散
Title Transcription: シリコンチュウキンゲンシノリングキコウカクサン
Author/Editor: 師岡, 正美, 福岡工業大学
Author Heading: 師岡, 正美モロオカ, マサミ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: impurity diffusion IMPURITYDIFFUSION
Si: Au SI: AU
ring-diffusion RING-DIFFUSION
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09640411
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09640411
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007057086
http://id.ndl.go.jp/bib/000007057086
Bibliographic Record Category (NDL): 214