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水素援用シリコン結晶性評価技術の開発

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水素援用シリコン結晶性評価技術の開発

Call No. (NDL)
Y151-H09650024
Bibliographic ID of National Diet Library
000007057189
Material type
図書
Author
徳田, 豊, 愛知工業大学
Publisher
-
Publication date
1997-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソ エンヨウ シリコン ケッショウセイ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
Author/Editor
徳田, 豊, 愛知工業大学
Author Heading
著者 : 徳田, 豊, 1950- トクダ, ユタカ, 1950- ( 00207110 )Authorities
Publication Date
1997-1999
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
p+シリコン P+シリコン
シヨツトキ シヨツトキ
水素イオン注入 スイソイオンチユウニユウ
DLTS DLTS
水素プラズマ スイソプラズマ