水素援用シリコン結晶性評価技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 水素援用シリコン結晶性評価技術の開発
Title Transcription: スイソエンヨウシリコンケッショウセイヒョウカギジュツノカイハツ
Author/Editor: 徳田, 豊, 愛知工業大学
Author Heading: 著者：徳田, 豊, 1950- トクダ, ユタカ, 1950- ( 00207110 )Authorities
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: p+シリコン P+シリコン
シヨツトキシヨツトキ
水素イオン注入スイソイオンチユウニユウ
DLTS DLTS
水素プラズマスイソプラズマ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650024
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650024
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007057189
http://id.ndl.go.jp/bib/000007057189
Bibliographic Record Category (NDL): 214