半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD

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Material Type: 図書
Title: 半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD
Title Transcription: ハンドウタイデバイスプロセスヨウト・ドウデンセイダイヤモンドジョウタンソマクノプラズマ CVD
Author/Editor: 木下, 治久, 静岡大学
Author Heading: 著者：木下, 治久, 1952- キノシタ, ハルヒサ, 1952- ( 00325166 )Authorities
静岡大学シズオカダイガク ( 00302677 )Authorities
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ダイヤモンド状炭素膜ダイヤモンドジヨウタンソマク
マグネトロンプラズママグネトロンプラズマ
スーパーマグネトロンプラズマスーパーマグネトロンプラズマ
プラズマCVD プラズマCVD
フイールドエミツタフイールドエミツタ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650382
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650382
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007057247
http://id.ndl.go.jp/bib/000007057247
Bibliographic Record Category (NDL): 214