シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究

• Material Type: 図書
• Title: シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究
• Title Transcription: シリコン ノ ケッショウイカタセイ エツチングプロセスモデル ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 佐藤, 一雄, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )Authorities
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 国際学術研究
• Subject Heading: モデリング モデリング; 水酸化カリウム スイサンカカリウム; エツチング速度 エツチングソクド; シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ; 結晶異方性エツチング ケツシヨウイホウセイエツチング; プロセスシミユレーシヨン プロセスシミユレーシヨン; マイクロマシン マイクロマシン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10044149
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10044149
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007058362; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058362
• Bibliographic Record Category (NDL): 214