散乱光と蛍光とを同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微小欠陥の検出法

• Material Type: 図書
• Title: 散乱光と蛍光とを同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微小欠陥の検出法
• Title Transcription: サンランコウ ト ケイコウ ト オ ドウジ ニ 、 カツ 、 ベツベツ ノ ダンソウズ ト スル ハンドウタイ ビショウ ケッカン ノ ケンシュツホウ
• Author/Editor: 小川, 智哉, 学習院大学
• Author Heading: 小川, 智哉 オガワ, トモヤ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 光散乱トモグラフイー ヒカリサンラントモグラフイー; 半導体微小欠陥 ハンドウタイビシヨウケツカン; 評価法 ヒヨウカホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10450011
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10450011
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007058734; http://id.ndl.go.jp/bib/000007058734
• Bibliographic Record Category (NDL): 214