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極微機械要素高密度実装システムの研究開発

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極微機械要素高密度実装システムの研究開発

Call No. (NDL)
Y151-H10555049
Bibliographic ID of National Diet Library
000007059294
Material type
図書
Author
堀江, 三喜男, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
極微機械要素高密度実装システムの研究開発
Title Transcription
キョクビ キカイ ヨウソ コウミツド ジッソウ システム ノ ケンキュウ カイハツ
Author/Editor
堀江, 三喜男, 東京工業大学
Author Heading
堀江, 三喜男 ホリエ, ミキオ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
電子デバイス基板実装機 デンシデバイスキバンジツソウキ
並列小型マニピユレータ ヘイレツコガタマニピユレータ
実装システム ジツソウシステム
パンタグラフ機構 パンタグラフキコウ
大変形ヒンジ ダイヘンケイヒンジ
ヒンジ寿命 ヒンジジユミヨウ
変位解析 ヘンイカイセキ
周波数応答 シユウハスウオウトウ