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リアルタイム分子膜厚分布計測装置の開発

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リアルタイム分子膜厚分布計測装置の開発

Call No. (NDL)
Y151-H10555064
Bibliographic ID of National Diet Library
000007059300
Material type
図書
Author
圓山, 重直, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
リアルタイム分子膜厚分布計測装置の開発
Title Transcription
リアルタイム ブンシ マクアツ ブンプ ケイソク ソウチ ノ カイハツ
Author/Editor
圓山, 重直, 東北大学
Author Heading
圓山, 重直 マルヤマ, シゲナオ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
干渉計 カンシヨウケイ
位相シフト イソウシフト
分子膜厚 ブンシマクアツ
相変化 ソウヘンカ
エリプソメータ エリプソメータ