知能化ダイヤモンドマルチプローブを搭載したナノ計測一体型超微細加工システムの開発

Call No. (NDL): Y151-H10555075
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007059306

Material type: 図書

Author: 柴田, 隆行, 北海道大学

Publisher: -

Publication date: 1998-1999

Material Format: Paper

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 知能化ダイヤモンドマルチプローブを搭載したナノ計測一体型超微細加工システムの開発
Title Transcription: チノウカダイヤモンドマルチプローブオトウサイシタナノケイソクイッタイガタチョウビサイカコウシステムノカイハツ
Author/Editor: 柴田, 隆行, 北海道大学
Author Heading: 著者：柴田, 隆行シバタ, タカユキ ( 001134306 )Authorities
北海道大学ホッカイドウダイガク ( 00260056 )Authorities
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ナノ計測一体型超微細加工システムナノケイソクイツタイガタチヨウビサイカコウシステム
ナノリングラフイーナノリングラフイー
原子間力顕微鏡ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
AFMプローブ AFMプローブ
ダイヤモンド薄膜ダイヤモンドハクマク
圧電薄膜アツデンハクマク
アクチユエータアクチユエータ
センサセンサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555075
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555075
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007059306
http://id.ndl.go.jp/bib/000007059306
Bibliographic Record Category (NDL): 214