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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- 3 ジゲン MOS デバイス オ モチイタ チョウコウセイノウ 3 ジゲン シュウセキ カイロ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 遠藤, 哲郎, 東北大学
- Author Heading
- 遠藤, 哲郎 エンドウ, テツオ
- Publication Date
- 1998-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)