表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術および分光評価技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: 表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術および分光評価技術の開発
• Title Transcription: ヒョウメン ハンノウ セイギョヨウ コウヒンシツ チュウセイ ラジカルビーム ノ セイセイ ギジュツ オヨビ ブンコウ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 林, 啓治, 金沢工業大学
• Author Heading: 林, 啓治 ハヤシ, ケイジ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 中性ラジカルビーム チユウセイラジカルビーム; 半導体デバイスプロセス ハンドウタイデバイスプロセス; フリーラジカル フリーラジカル; 負イオン フイオン; 光励起 ヒカリレイキ; 化学物理 カガクブツリ; 量子化学 リヨウシカガク; 反応設計 ハンノウセツケイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10640393
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10640393
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060088; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060088
• Bibliographic Record Category (NDL): 214