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図書

3族窒化物表面反応過程のマイクロバランスと光によるその場測定

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3族窒化物表面反応過程のマイクロバランスと光によるその場測定

Call No. (NDL)
Y151-H10650003
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060244
Material type
図書
Author
関, 壽, 東京農工大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
3 ゾク チッカブツ ヒョウメン ハンノウ カテイ ノ マイクロバランス ト ヒカリ ニ ヨル ソノ バ ソクテイ
Author/Editor
関, 壽, 東京農工大学
Author Heading
関, 壽 セキ, ヒサシ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
窒化物 チツカブツ
表面反応 ヒヨウメンハンノウ
原子層エキタピシー ゲンシソウエキタピシー
グラヴイメトリツク法 グラヴイメトリツクホウ
表面光吸収法 ヒヨウメンヒカリキユウシユウホウ
緩衝層 カンシヨウソウ
GaAs基板 GAASキバン
反応過程 ハンノウカテイ