Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用

Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用

Call No. (NDL): Y151-H10650013
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007060251

Material type: 図書

Author: 鶴島, 稔夫;佐道, 泰造, 九州大学

Publisher: -

Publication date: 1998-1999

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
Title Transcription: Si ケッショウチュウノショウシャユウキケッカンノドウテキキョドウノカイメイトプロセスオウヨウ
Author/Editor: 鶴島, 稔夫;佐道, 泰造, 九州大学
Author Heading: 鶴島, 稔夫ツルシマ, トシオ
佐道, 泰造サドウ, タイゾウ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: シリコンシリコン
イオンビームイオンビーム
照射誘起欠陥シヨウシヤユウキケツカン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650013
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650013
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060251
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060251
Bibliographic Record Category (NDL): 214