マイクロフオーカス光学系設計法の研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロフオーカス光学系設計法の研究
• Title Transcription: マイクロフオーカス コウガクケイ セッケイホウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 波岡, 武, 東北大学
• Author Heading: 波岡, 武 ナミオカ, タケシ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: マイクロフオーカス マイクロフオーカス; 2素子光学系 2ソシコウガクケイ; シヤバルツシルト光学系 シヤバルツシルトコウガクケイ; テレセントリツク光学系 テレセントリツクコウガクケイ; 光線追跡 コウセンツイセキ; 収差解析 シユウサカイセキ; スポツトダイアグラム スポツトダイアグラム; EUVL EUVL
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650034
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650034
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060266; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060266
• Bibliographic Record Category (NDL): 214