反応性スパツタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール

• Material Type: 図書
• Title: 反応性スパツタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
• Title Transcription: ハンノウセイ スパツタリングホウ ニ ヨル チョウコウシツ タゲンケイ チッカブツ ハクマク ノ コウセイド ソセイ コントロール
• Author/Editor: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
• Author Heading: 小寺澤, 啓司 コテラザワ, ケイジ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 窒化チタン チツカチタン; 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング; プロセス制御 プロセスセイギヨ; 分光分析 ブンコウブンセキ; 二源スパツタリング ニゲンスパツタリング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650096
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650096
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060313; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060313
• Bibliographic Record Category (NDL): 214