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レーザラマン分光法によるシリコン単結晶の応力評価

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レーザラマン分光法によるシリコン単結晶の応力評価

Call No. (NDL)
Y151-H10650098
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060315
Material type
図書
Author
新津, 靖, 東京電機大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レーザラマン ブンコウホウ ニ ヨル シリコンタンケッショウ ノ オウリョク ヒョウカ
Author/Editor
新津, 靖, 東京電機大学
Author Heading
新津, 靖 ニイツ, ヤスシ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
ラマン分光 ラマンブンコウ
応力 オウリヨク
シリコン シリコン
ラマンシフト ラマンシフト