カオス理論の適用による超精密・微細加工面の設計

• Material Type: 図書
• Title: カオス理論の適用による超精密・微細加工面の設計
• Title Transcription: カオス リロン ノ テキヨウ ニ ヨル チョウセイミツ ・ ビサイ カコウメン ノ セッケイ
• Author/Editor: 樋口, 誠宏, 関西大学
• Author Heading: 樋口, 誠宏 ヒグチ, マサヒロ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 磁気デイスク基板 ジキデイスクキバン; ダイヤモンド切削 ダイヤモンドセツサク; 残留応力 ザンリユウオウリヨク; 形状精度 ケイジヨウセイド; シリコン シリコン; 異方性エツチング イホウセイエツチング; 表面構造 ヒヨウメンコウゾウ; 自己アフイン ジコアフイン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650127
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650127
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060334; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060334
• Bibliographic Record Category (NDL): 214