低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成

• Material Type: 図書
• Title: 低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成
• Title Transcription: テイシュウハ プラズマ CVD ニ ヨル シュウセキ カイロ ハイセン ノ カクサン バリアザイ ト シテ ノ TiN マク テイオン ケイセイ
• Author/Editor: 下妻, 光夫, 北海道大学
• Author Heading: 下妻, 光夫 シモヅマ, ミツオ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: TiN TIN; プラズマCVD プラズマCVD; 薄膜生成 ハクマクセイセイ; 低周波プラズマ テイシユウハプラズマ; 低周波プラズマCVD テイシユウハプラズマCVD; 拡散バリア材 カクサンバリアザイ; 薄膜低温形成 ハクマクテイオンケイセイ; 集積回路材 シユウセキカイロザイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650298
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650298
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060439; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060439
• Bibliographic Record Category (NDL): 214