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図書

集積電子回路におけるフイールド酸化膜上の高配向薄膜配線の形成

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集積電子回路におけるフイールド酸化膜上の高配向薄膜配線の形成

Call No. (NDL)
Y151-H10650300
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060440
Material type
図書
Author
野矢, 厚, 北見工業大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シュウセキ デンシ カイロ ニ オケル フイールド サンカマク ジョウ ノ コウハイコウ ハクマク ハイセン ノ ケイセイ
Author/Editor
野矢, 厚, 北見工業大学
Author Heading
野矢, 厚 ノヤ, アツシ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
集積回路 シユウセキカイロ
配線 ハイセン
高配向薄膜 コウハイコウハクマク