水素化アモルフアス炭素薄膜の形成過程と物性

• Material Type: 図書
• Title: 水素化アモルフアス炭素薄膜の形成過程と物性
• Title Transcription: スイソカ アモルフアス タンソ ハクマク ノ ケイセイ カテイ ト ブッセイ
• Author/Editor: 渡久地, 實, 琉球大学
• Author Heading: 渡久地, 實 トグチ, ミノル
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: VHFプラズマ VHFプラズマ; スパツタリング法 スパツタリングホウ; a-C: H薄膜 A-C: Hハクマク; 水素分圧 スイソブンアツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650314
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650314
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060452; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060452
• Bibliographic Record Category (NDL): 214