熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析

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Material Type: 図書
Title: 熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析
Title Transcription: ネツ CVD ソウチセッケイノタメノグローバルプロセスカイセキ
Author/Editor: 佐藤, 恒之, 九州大学
Author Heading: 佐藤, 恒之サトウ, ツネユキ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: CVD CVD
シミユレーシヨンシミユレーシヨン
シリコンエピタキシーシリコンエピタキシー
成膜速度セイマクソクド
枚葉式マイヨウシキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650749
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650749
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060723
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060723
Bibliographic Record Category (NDL): 214