極めて低い比抵抗を有する透明酸化物薄膜の作製

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Material Type: 図書
Title: 極めて低い比抵抗を有する透明酸化物薄膜の作製
Title Transcription: キワメテヒクイヒテイコウオユウスルトウメイサンカブツハクマクノサクセイ
Author/Editor: 重里, 有三, 青山学院大学
Author Heading: 著者：重里, 有三シゲサト, ユウゾウ ( 001122120 )Authorities
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 酸化インジウムサンカインジウム
ITO薄膜 ITOハクマク
透明導電膜トウメイドウデンマク
スパツタリングスパツタリング
価電子制御カデンシセイギヨ
アモルフアスアモルフアス
プラズマプラズマ
ドーピングドーピング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650829
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650829
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060778
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060778
Bibliographic Record Category (NDL): 214