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プロセスプラズマ計測用赤外域レーザートムソン散乱システムの開発

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プロセスプラズマ計測用赤外域レーザートムソン散乱システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H10680462
Bibliographic ID of National Diet Library
000007062710
Material type
図書
Author
内野, 喜一郎, 九州大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プロセスプラズマ ケイソクヨウ セキガイイキ レーザートムソン サンラン システム ノ カイハツ
Author/Editor
内野, 喜一郎, 九州大学
Author Heading
内野, 喜一郎 ウチノ, キイチロウ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
プロセスプラズマ プロセスプラズマ
レーザー計測 レーザーケイソク
トムソン散乱 トムソンサンラン
赤外光 セキガイヒカリ
電子密度 デンシミツド
電子温度 デンシオンド
反応性ガス ハンノウセイガス
光子エネルギー コウシエネルギー