核生成・成長過程独立制御による高品位cBNプラズマ合成

• Material Type: 図書
• Title: 核生成・成長過程独立制御による高品位cBNプラズマ合成
• Title Transcription: カク セイセイ ・ セイチョウ カテイ ドクリツ セイギョ ニ ヨル コウヒンイ cBN プラズマ ゴウセイ
• Author/Editor: 吉田, 豊信, 東京大学
• Author Heading: 吉田, 豊信 ヨシダ, トヨノブ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 立方晶窒化硼素 リツポウシヨウチツカホウソ; プラズマプロセス プラズマプロセス; イオン衝撃 イオンシヨウゲキ; 核生成・成長過程 カクセイセイ・セイチヨウカテイ; 低圧ICP-CVD テイアツICP-CVD; 高周波スパツタリング コウシユウハスパツタリング; 水素 スイソ; rBN RBN
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08405047
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08405047
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007063096; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063096
• Bibliographic Record Category (NDL): 214